可装载Reticle(Mask或掩模版)种类：RSP150、MRSP150、RSP200、MuIti POD、LUNCH BOXTYPE、45°TYPE 或 O°TYPE、BIVALVE TYPE。
配置：Turn table、Flipper、Buffer、OCR、Pellicle 相机等。
销售数量：Retice EFEM/Sorter(已出货>300)、SMIFPOD Opener(已出货>7000，RSP 200、RSP150 等)。
Robot：Fit-in Finger、Clamp Finger、定心定向功能等。
FFU：ULPA flter (材质: PTFE)、Chemical filter、温度控制、温湿度检测、空气速度检测等。
对接工艺情况：Sorter、量测设备、图形工艺、分析工艺、刻蚀工艺等。
可靠性：MTBF>8000h。