RR757 该款大气机械手是搭载绝对编码器以及步进马达的SCARA Robot。通过手臂和旋转轴配合的补间动作,
可以不搭配行走轴,独立对应双Load port场景的晶圆传输。双臂的构造可以在最短时间内进行Wafer置换,从而提高产能。
若搭配行走轴,机械手能控制本体和外部行走轴进行同步动作,示教阶段亦可实现。
全轴搭载含ABS编码器的步进马达
不搭配行走轴,独立对应双Load port场景的晶圆传输。
手臂高刚性对应高重量的负载
双臂构造从而实现高产能
可以控制外部行走轴
RR757 该款大气机械手是搭载绝对编码器以及步进马达的SCARA Robot。通过手臂和旋转轴配合的补间动作,
可以不搭配行走轴,独立对应双Load port场景的晶圆传输。双臂的构造可以在最短时间内进行Wafer置换,从而提高产能。
若搭配行走轴,机械手能控制本体和外部行走轴进行同步动作,示教阶段亦可实现。
全轴搭载含ABS编码器的步进马达
不搭配行走轴,独立对应双Load port场景的晶圆传输。
手臂高刚性对应高重量的负载
双臂构造从而实现高产能
可以控制外部行走轴
| 手臂/EE: | 双臂 |
| 臂长(mm): | 156 |
| Z轴行程(mm): | 340/410/430 |
| 最大传输距离(mm)※1: | 766 |
| 旋转范围(deg): | 330 |
| 搬送精度(mm): | ±0.1 |
| 洁净度等级: | class 1 |
| 旋转半径(deg)※2: | R282.5 ~ R335 |
| 编码器规格: | 绝对编码器 |
※1 以搬送300mm Wafer为例
※2 根据Wrist以及EE的长度会有所不同。